| Stroke | Resolution | Repeatability | Thrust power |
| XY 4mm, θ 60° 선택가능 : 120°,180°,240°,360° | XY 1μm/p （ABZ상） θ 0.005°/p（ABZ상） | ±3pulse | 60gf, 50g・cm |
| Holding force | Speed | 구동액츄에이터 | |
| 250gf, 150g・cm | 10mm/s | TULA50(16.5mm) , TULA70（22mm） |
초음파 모터(Piezo motor)
초음파모터는 압전세라믹(진동자)의 압전효과에 의한 초음파 진동을 직선, 회전운동으로 변환하는 모터.
초음파 모터
XYDT50-04/θDT70-060
XYθ 스테이지